TY  - RPRT
TI  - CMOS circuit-fabrication handbook
AU  - Bouldin, D. L.
AU  - Eastes, R. W.
AU  - Feltner, W. R.
AU  - Hollis, B. R.
AU  - Routh, D. E.
PY  - 1979
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19790000148
ID  - 19790000148
ER  -