TY - RPRT TI - Processing dependence of metal/tunnel-oxide/silicon junctions AU - Dressendorfer, P. V. AU - Lai, S. K. AU - Barker, R. C. AU - Ma, T. P. PY - 1980 UR - https://ntrs.nasa.gov/citations/19800051303 ID - 19800051303 ER -