TY - RPRT TI - XPS Study of SiO2 and the Si/SiO2 Interface AU - Grunthaner, F. J. AU - Grunthaner, P. J. AU - Vasquez, R. P. AU - Lewis, B. F. AU - Maserjian, J. AU - Madhukar, A. PY - 1982 UR - https://ntrs.nasa.gov/citations/19810000285 ID - 19810000285 ER -