TY  - RPRT
TI  - Techniques for improving the Si-SiO2 interface characterization
AU  - Sher, A.
AU  - Hoffman, H. J.
AU  - Su, P.
AU  - Tsuo, Y. H.
PY  - 1983
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19830065057
ID  - 19830065057
ER  -