TY  - RPRT
TI  - Compensation in epitaxial cubic SiC films
AU  - Segall, B.
AU  - Alterovitz, S. A.
AU  - Haugland, E. J.
AU  - Matus, L. G.
PY  - 1986
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19860015796
ID  - 19860015796
ER  -