TY  - RPRT
TI  - Sputtered W-N diffusion barriers
AU  - Kattelus, H. P.
AU  - Kolawa, E.
AU  - Affolter, K.
AU  - Nicolet, M.-A.
PY  - 1985
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19860032738
ID  - 19860032738
ER  -