TY  - RPRT
TI  - Nondestructive SEM for surface and subsurface wafer imaging
AU  - Propst, Roy H.
AU  - Bagnell, C. Robert
AU  - Cole, Edward I., Jr.
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AU  - Oxford, William V.
AU  - Smith, Craig A.
PY  - 1987
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19870017773
ID  - 19870017773
ER  -