TY  - RPRT
TI  - Improved beta-SiC heteroepitaxial films using off-axis Si substrates
AU  - Powell, J. A.
AU  - Matus, L. G.
AU  - Kuczmarski, M. A.
AU  - Chorey, C. M.
AU  - Cheng, T. T.
PY  - 1987
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19880023204
ID  - 19880023204
ER  -