TY  - RPRT
TI  - Diffusion of Si in thin CoSi2 layers
AU  - Schowengerdt, F. D.
AU  - Lin, T. L.
AU  - Fathauer, R. W.
AU  - Grunthaner, P. J.
PY  - 1989
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19890047313
ID  - 19890047313
ER  -