TY - RPRT TI - Study of InGaAs-based modulation doped field effect transistor structures using variable-angle spectroscopic ellipsometry AU - Alterovitz, S. A. AU - Sieg, R. M. AU - Yao, H. D. AU - Snyder, P. G. AU - Woollam, J. A. AU - Pamulapati, J. AU - Bhattacharya, P. K. AU - Sekula-Moise, P. A. PY - 1991 UR - https://ntrs.nasa.gov/citations/19950047806 ID - 19950047806 ER -