TY  - RPRT
TI  - Applying CLIPS to control of molecular beam epitaxy processing
AU  - Rabeau, Arthur A.
AU  - Bensaoula, Abdelhak
AU  - Jamison, Keith D.
AU  - Horton, Charles
AU  - Ignatiev, Alex
AU  - Glover, John R.
PY  - 1990
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19960002952
ID  - 19960002952
ER  -