TY  - RPRT
TI  - Silicon Micromachined Sensor for Broadband Vibration Analysis
AU  - Gutierrez, Adolfo
AU  - Edmans, Daniel
AU  - Cormeau, Chris
AU  - Seidler, Gernot
AU  - Deangelis, Dave
AU  - Maby, Edward
PY  - 1995
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19960054122
ID  - 19960054122
ER  -