TY  - RPRT
TI  - Recent Developments in Microsystems Fabricated by the Liga-Technique
AU  - Schulz, J.
AU  - Bade, K.
AU  - El-Kholi, A.
AU  - Hein, H.
AU  - Mohr, J.
PY  - 1995
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19960054128
ID  - 19960054128
ER  -