TY  - RPRT
TI  - MEMS Technology for Space Applications
AU  - vandenBerg, A.
AU  - Spiering, V. L.
AU  - Lammerink, T. S. J.
AU  - Elwenspoek, M.
AU  - Bergveld, P.
PY  - 1995
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19960054140
ID  - 19960054140
ER  -