TY - RPRT TI - Pressure Effect in ZnO Films Using Off-Axis Sputtering Deposition AU - Zhu, Shen AU - Su, C.-H. AU - Lehoczky, S. L. AU - Peters, P. AU - George, M. A. PY - 1999 UR - https://ntrs.nasa.gov/citations/19990108598 ID - 19990108598 ER -