TY  - RPRT
TI  - Method of Forming Micro-Sensor Thin-Film Anemometer
AU  - Sheplak, Mark
AU  - McGinley, Catherine B.
AU  - Spina, Eric F.
AU  - Stephens, Ralph M.
AU  - Hopson, Purnell, Jr.
AU  - Cruz, Vincent B.
PY  - 2000
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20000048258
ID  - 20000048258
ER  -