TY  - RPRT
TI  - Finite-Element Modeling of 3C-SiC Membranes
AU  - DeAnna, R. G.
AU  - Mitchell, J.
AU  - Zorman, C. A.
AU  - Mehregany, M.
PY  - 2000
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20000057043
ID  - 20000057043
ER  -