TY  - RPRT
TI  - MEMS Memory Elements
AU  - Carley, L. Richard
AU  - El-Sayed, Rany Tawfik
AU  - Guillou, David F.
AU  - Alfaro, Fernando
AU  - Fedder, Gary K.
AU  - Schlosser, Steven W.
AU  - Griffin, John L.
AU  - Nagle, David F.
AU  - Ganger, Gregory R.
AU  - Bain, James
PY  - 2001
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20020028798
ID  - 20020028798
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