TY  - RPRT
TI  - Feature Profile Evolution of SiO2 Trenches In Fluorocarbon Plasmas
AU  - Hwang, Helen
AU  - Govindan, T. R.
AU  - Meyyappan, M.
AU  - Arunachalam, Valli
AU  - Rauf, Shahid
AU  - Coronell, Dan
AU  - Carroll, Carol W.
PY  - 1999
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20020039739
ID  - 20020039739
ER  -