TY  - RPRT
TI  - Fabrication of MEMS-Based Microshutter Arrays for Optical Transmission Selection
AU  - Lynch, Bernard A.
AU  - Franz, David E.
AU  - Hu, R. G.
AU  - Jhabvala, M. D.
AU  - Kotecki, C. A.
AU  - Li, M. J.
AU  - Oh, H.
AU  - Zheng, Y.
PY  - 2004
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20040082145
ID  - 20040082145
ER  -