TY  - RPRT
TI  - High performance MEMS micro-gyroscope
AU  - Bae, S. Y.
AU  - Hayworth, K. J.
AU  - Yee, K. Y.
AU  - Shcheglov, K.
AU  - Challoner, A. D.
AU  - Wiberg, D. V.
PY  - 2002
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20060030678
ID  - 20060030678
ER  -