TY  - RPRT
TI  - Ellipsometer
AU  - Ducharme, Stephen Paul
AU  - El Hajj, Hassanayn Machlab
AU  - Johs, Blaine D.
AU  - Woollam, John A.
PY  - 1997
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20080004630
ID  - 20080004630
ER  -