TY  - RPRT
TI  - Fluidized bed silicon deposition from silane
AU  - Hsu, George
AU  - Levin, Harry
AU  - Hogle, Richard A.
AU  - Praturi, Ananda
AU  - Lutwack, Ralph
PY  - 1984
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20080005854
ID  - 20080005854
ER  -