TY - RPRT TI - High Temperature Capacitive Pressure Sensor Employing a SiC Based Ring Oscillator AU - Meredith, Roger D. AU - Neudeck, Philip G. AU - Ponchak, George E. AU - Beheim, Glenn M. AU - Scardelletti, Maximilian AU - Jordan, Jennifer L. AU - Chen, Liang-Yu AU - Spry, David J. AU - Krawowski, Michael J. AU - Hunter, Gary W. PY - 2011 UR - https://ntrs.nasa.gov/citations/20120000848 ID - 20120000848 ER -