TY  - RPRT
TI  - Multi-Step Deep Reactive Ion Etching Fabrication Process for Silicon-Based Terahertz Components
AU  - Jung-Kubiak, Cecile
AU  - Reck, Theodore
AU  - Chattopadhyay, Goutam
AU  - Perez, Jose Vicente Siles
AU  - Lin, Robert H.
AU  - Mehdi, Imran
AU  - Lee, Choonsup
AU  - Cooper, Ken B.
AU  - Peralta, Alejandro
PY  - 2016
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20160013189
ID  - 20160013189
ER  -