TY  - RPRT
TI  - MSTAR: an absolute metrology system with submicrometer accuracy
AU  - Fetterman, Harrold R.
AU  - Ahn, Seh-Won
AU  - Steier, William H.
AU  - Burger, Johan
AU  - Peters, Robert D.
AU  - Dubovitsky, Serge
AU  - Lay, Oliver P.
PY  - 2004
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20210001722
ID  - 20210001722
ER  -