TY - RPRT TI - Silicon Rf-Mems for Thz Space Applications AU - Chattopadhyay, Goutam AU - Rais-Zadeh, Mina AU - Reck, Theodore AU - Alonso del Pino, Maria AU - Jung-Kubiak, Cecile AU - Rahiminejad, Sofia PY - 2020 UR - https://ntrs.nasa.gov/citations/20220001168 ID - 20220001168 ER -