TY  - RPRT
TI  - TaN resistor process development and integration.
AU  - Romero, Kathleen
AU  - Martinez, Marino John
AU  - Clevenger, Jascinda
AU  - Austin, IV, Franklin H
AU  - Sullivan, Charles Thomas
AU  - Wolfley, Steven L
AU  - Patrizi, Gary A
AU  - Vigil, Pablita S
AU  - Grine, Alejandro J
PY  - 2010
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1014642
ID  - 1014642
ER  -