TY  - RPRT
TI  - Three wafer stacking for 3D integration.
AU  - Greth, K Douglas
AU  - Ford, Christine L
AU  - Lantz, Jeffrey W
AU  - Shinde, Subhash L
AU  - Timon, Robert P
AU  - Bauer, Todd M
AU  - Hetherington, Dale Laird
AU  - Sanchez, Carlos Anthony
PY  - 2011
DO  - 10.2172/1031299
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1031299
ID  - 1031299
ER  -