TY  - RPRT
TI  - Characterization of Electron Microscopes with Binary Pseudo-random Multilayer Test Samples
AU  - Yashchuk, V
AU  - Conley, R
AU  - Anderson, E
AU  - Barber, S
AU  - Bouet, N
AU  - McKinney, W
AU  - Takacs, P
AU  - Voronov, D
PY  - 2011
DO  - 10.1016/j.nima.2010.11.124
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1041757
ID  - 1041757
ER  -