TY  - RPRT
TI  - Hard X-ray Nano Patterning using a Sectioned Multilayer
AU  - Lee, S
AU  - Cho, I
AU  - Kim, J
AU  - Yan, H
AU  - Conley, R
AU  - Liu, C
AU  - Macrander, A
AU  - Maser, J
AU  - Stephenson, G
PY  - 2011
DO  - 10.1063/1.3552589
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1041861
ID  - 1041861
ER  -