TY  - RPRT
TI  - Maintainable substrate carrier for electroplating
AU  - Chen, Chen-An
AU  - Abas, Emmanuel Chua
AU  - Divino, Edmundo Anida
AU  - Ermita, Jake Randal G
AU  - Capulong, Jose Francisco S
AU  - Castillo, Arnold Villamor
AU  - Ma
AU  - Xiaobing, Diana
PY  - 2012
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1068843
ID  - 1068843
ER  -