TY  - RPRT
TI  - A broader view on EUV-masks: adding complementary imaging modes to the SHARP microscope
AU  - Benk, Markus P.
AU  - Miyakawa, Ryan H.
AU  - Chao, Weilun
AU  - Wang, Yow-Gwo
AU  - Wojdyla, Antoine
AU  - Johnson, David G.
AU  - Donoghue, Alexander P.
AU  - Goldberg, Kenneth A.
PY  - 2014
DO  - 10.1117/12.2065513
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1163231
ID  - 1163231
ER  -