TY  - RPRT
TI  - Electrostatic MEMS devices with high reliability
AU  - Goldsmith, Charles L
AU  - Auciello, Orlando H
AU  - Sumant, Anirudha V
AU  - Mancini, Derrick C
AU  - Gudeman, Chris
AU  - Sampath, Suresh
AU  - Carlilse, John A
AU  - Carpick, Robert W
AU  - Hwang, James
PY  - 2015
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1170735
ID  - 1170735
ER  -