TY  - RPRT
TI  - Membrane projection lithography
AU  - Burckel, David Bruce
AU  - Davids, Paul S
AU  - Resnick, Paul J
AU  - Draper, Bruce L
PY  - 2015
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1172748
ID  - 1172748
ER  -