TY  - RPRT
TI  - Microfabrication Capabilities & Device Architectures
AU  - Bauer, Todd
AU  - Jones, Adam
AU  - Lentine, Anthony
AU  - Mudrick, John
AU  - Okandan, Murat
AU  - Rodrigues, Arun
PY  - 2015
DO  - 10.2172/1184366
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1184366
ID  - 1184366
ER  -