TY  - RPRT
TI  - Multiple complementary gas distribution assemblies
AU  - Ng, Tuoh-Bin
AU  - Melnik, Yuriy
AU  - Pang, Lily L
AU  - Tuncel, Eda
AU  - Nguyen, Son T
AU  - Chen, Lu
PY  - 2016
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1245459
ID  - 1245459
ER  -