TY  - RPRT
TI  - Device Level 3-D Integrated Circuits.
AU  - Burckel, David Bruce
AU  - Resnick, Paul J.
AU  - Draper, Bruce L.
AU  - Finnegan, Patrick Sean
AU  - Davids, Paul
PY  - 2015
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1257565
ID  - 1257565
ER  -