TY  - RPRT
TI  - Scanning Tunneling Lithography Toolset.
AU  - Ward, Daniel Robert
AU  - Misra, Shashank
AU  - Scrymgeour, David
AU  - Simonson, Robert J.
AU  - Marshall, Michael Thomas
AU  - Koepke, Justin
AU  - Bussmann, Ezra
AU  - Carroll, Malcolm S.
AU  - Ballard, Josh
AU  - Owen, James
AU  - Schmucker, Scott
AU  - Fuchs, Udi
AU  - Pryadkin, Swegiy
AU  - Randall, John
PY  - 2016
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1368983
ID  - 1368983
ER  -