TY  - RPRT
TI  - Predicting synergy in atomic layer etching
AU  - Kanarik, Keren J.
AU  - Tan, Samantha
AU  - Yang, Wenbing
AU  - Kim, Taeseung
AU  - Lill, Thorsten
AU  - Kabansky, Alexander
AU  - Hudson, Eric A.
AU  - Ohba, Tomihito
AU  - Nojiri, Kazuo
AU  - Yu, Jengyi
AU  - Wise, Rich
AU  - Berry, Ivan L.
AU  - Pan, Yang
AU  - Marks, Jeffrey
AU  - Gottscho, Richard A.
PY  - 2017
DO  - 10.1116/1.4979019
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1376399
ID  - 1376399
ER  -