TY  - RPRT
TI  - Coated substrate apparatus and method
AU  - Bao, Zhenan
AU  - Diao, Ying
AU  - Mannsfeld, Stefan Christian Bernhardt
AU  - Tee, Chee-Keong
AU  - Becerril-Garcia, Hector A.
AU  - Zhou, Yan
PY  - 2018
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1416353
ID  - 1416353
ER  -