TY  - RPRT
TI  - Pattern-generation and pattern-transfer for single-digit nano devices
AU  - Rangelow, Ivo W.
AU  - Ahmad, Ahmad
AU  - Ivanov, Tzvetan
AU  - Kaestner, Marcus
AU  - Krivoshapkina, Yana
AU  - Angelov, Tihomir
AU  - Lenk, Steve
AU  - Lenk, Claudia
AU  - Ishchuk, Valentyn
AU  - Hofmann, Martin
AU  - Nechepurenko, Diana
AU  - Atanasov, Ivaylo
AU  - Volland, Burkhard
AU  - Guliyev, Elshad
AU  - Durrani, Zahid
AU  - Jones, Mervyn
AU  - Wang, Chen
AU  - Liu, Dixi
AU  - Reum, Alexander
AU  - Holz, Mathias
AU  - Nikolov, Nikolay
AU  - Majstrzyk, Wojciech
AU  - Gotszalk, Teodor
AU  - Staaks, Daniel
AU  - Dallorto, Stefano
AU  - Olynick, Deirdre L.
PY  - 2016
DO  - 10.1116/1.4966556
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1421235
ID  - 1421235
ER  -