TY  - RPRT
TI  - Metal-assisted etch combined with regularizing etch
AU  - Yim, Joanne
AU  - Miller, Jeff
AU  - Jura, Michael
AU  - Black, Marcie R.
AU  - Forziati, Joanne
AU  - Murphy, Brian
AU  - Magliozzi, Lauren
PY  - 2018
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1424402
ID  - 1424402
ER  -