TY  - RPRT
TI  - CMOS compatible processing for phosphorous delta-layer nanoscale electronics.
AU  - Campbell, DeAnna Marie
AU  - Marshall, Michael Thomas
AU  - Maurer, Leon
AU  - Koepke, Justin
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Ward, Daniel Robert
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2018
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1501971
ID  - 1501971
ER  -