TY  - RPRT
TI  - Atomically precise graphene etch stops for three dimensional integrated systems from two dimensional material heterostructures
AU  - Son, Jangyup
AU  - Kwon, Junyoung
AU  - Kim, SunPhil
AU  - Lv, Yinchuan
AU  - Yu, Jaehyung
AU  - Lee, Jong-Young
AU  - Ryu, Huije
AU  - Watanabe, Kenji
AU  - Taniguchi, Takashi
AU  - Garrido-Menacho, Rita
AU  - Mason, Nadya
AU  - Ertekin, Elif
AU  - Huang, Pinshane Y.
AU  - Lee, Gwan-Hyoung
AU  - M. van der Zande, Arend
PY  - 2018
DO  - 10.1038/s41467-018-06524-3
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1511448
ID  - 1511448
ER  -