TY  - RPRT
TI  - APS-TD Cleanroom Facilities
AU  - Bice, D.
AU  - Baker, C.
AU  - Kuhn, B.
AU  - Penhollow, A.
PY  - 2020
DO  - 10.2172/1592119
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1592119
ID  - 1592119
ER  -