TY  - RPRT
TI  - Lithographic Development Endpoint Detection Using Electrochemical Techniques.
AU  - Baca, Kalin
AU  - Arrington, Christian Lew
AU  - Hollowell, Andrew E
AU  - Finnegan, Patrick Sean
AU  - Pillars, Jamin Ryan
AU  - Dagel, Amber Lynn
AU  - Singh, V.
AU  - Nguyen, Q.
PY  - 2018
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1594666
ID  - 1594666
ER  -