TY  - RPRT
TI  - 2D MEMS-based multilayer Laue lens nanofocusing optics for high-resolution hard x-ray microscopy
AU  - Xu, Wei
AU  - Xu, Weihe
AU  - Bouet, Nathalie
AU  - Zhou, Juan
AU  - Yan, Hanfei
AU  - Huang, Xiaojing
AU  - Pattammattel, Ajith
AU  - Gao, Yuan (ORCID:0000000254358863)
AU  - Lu, Ming
AU  - Zalalutdinov, Maxim
AU  - Chu, Yong S.
AU  - Nazaretski, Evgeny
PY  - 2020
DO  - 10.1364/oe.389555
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1631185
ID  - 1631185
ER  -