TY  - RPRT
TI  - Assessing atomically thin delta-doping of silicon using mid-infrared ellipsometry
AU  - Katzenmeyer, Aaron M.
AU  - Luk, Ting S.
AU  - Bussmann, Ezra
AU  - Young, Steve
AU  - Anderson, Evan M.
AU  - Marshall, Michael T.
AU  - Ohlhausen, James A.
AU  - Kotula, Paul
AU  - Lu, Ping
AU  - Campbell, DeAnna M.
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Liu, Peter Q.
AU  - Ward, Daniel R.
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2020
DO  - 10.1557/jmr.2020.155
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1644064
ID  - 1644064
ER  -