TY  - RPRT
TI  - Metal-assisted etch combined with regularizing etch
AU  - Yim, Joanne
AU  - Miller, Jeffrey B.
AU  - Jura, Michael
AU  - Black, Marcie R.
AU  - Forziati, Joanne
AU  - Murphy, Brian P.
AU  - Magliozzi, Lauren
PY  - 2020
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1650801
ID  - 1650801
ER  -